主要功能

1.利用纳米级光学干涉技术为客户提供开发段制程参数最佳化验证分析，节省开发成本，缩

  短开发周期

2‧微/纳米级机电组件之尺寸量测及表面微观结构分析

3‧材料表面失效分析、缺陷分析、微观截面轮廓比对等

4‧摩擦学（摩擦磨损）以及腐蚀表面工程等研究

5‧透明及半透明膜厚測試、曲率半径分析等

6‧精細表面2D/3D表面粗糙度量測

主要量测参数

1‧2D/3D表面粗糙度

2‧微观表面轮廓分析

3‧纳米级尺寸检测

4‧缺陷分析